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Effective control of TEOS-PECVD thin film depositions

 Congreso: 2020 International Semiconductor Conference (CAS 2020 proceedings): 43rd edition, October 7-9, 2020, Sinaia, Romania

 Editorial: Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc.

 Año de publicación: 2020

 Nº de páginas: 4

 Páginas: 195 a 198

 Tipo de publicación: Comunicación a Congreso

 DOI: 10.1109/CAS50358.2020.9268003

 ISBN: 978-1-7281-1073-8

Autoría

CARP, MIHAELA

DEDIU, VIOLETA

PISTRITU, FLORIAN

ILIESCU, CIPRIAN